AccuSizer® A7000 SIS-2 注射型(原液)液體顆粒計數器

型號AccuSizer®A7000 SIS        

檢測范圍0.5 - 400μm        

計數濃度10000個/ml        

   

AAcuSizer® A7000 SIS注射型(原液)液體顆粒計數器具有高靈敏度，高分辨率，高達1024數據通道的特點。在檢測液體中的顆粒數量的同時精確測量顆粒的粒度及粒度分布，結合全新一代AccuSizer軟件的強大分析功能，通過真實精細的分布結果，廣泛服務于光電材料（PI、光刻膠）、IVD、凈水、墨水、過濾、精密加工等領域。

       

AcuSizer A7000 SIS
注射型(原液)液體顆粒計數器

檢測范圍： 0.5μm - 400μm

樣品濃度： 10000個/mL

可根據樣品特性，選配不同的進樣系統。不僅可以檢測常規液體樣本，升級后可檢測油品樣本。

應用: 光電材料（PI、光刻膠）、IVD、凈水、墨水、過濾、精密加工等。

產品優勢

       

           

           

           

①進樣器: 全自動進樣系統，測樣過程安全、簡單、快捷配備不同型號的注射器，拆卸方便。

②主機: 1024通道計算實現儀器的高分辨率、高靈敏度。

③傳感器: 獨立安裝，方便拆卸，既有利于維護維修，也便于更換其他型號傳感器。

④Loop進樣環：A7000 APS配備了不同體積的進樣環，選用不同的進樣環，在保證精確進樣量的同時，可以滿足不同濃度樣品的檢測要求。

計數效率高
High counting efficiency

顆粒計數器的計數效率主要體現在兩個指標上: 單位時間內可計數的總數和重復性(統計學意義)A7000系列顆粒計數器可以在短時間內快速計數大量粒子，其優秀的硬件和軟件設計為數據的準確性提供了有利保障。

A7000 SIS 測試3次數據結果匯總表
	測試得到的樣品濃度(單位：顆/mL)
第一次測試	16644666
第二次測試	16140229
第三次測試	16483163
RSD	1.28%

A7000 SIS 測試3次數據譜圖結果匯總

           

從測試結果數據看，使用A7000 SIS測試的亞微米標準粒子，其樣品濃度約為8210顆/mL，樣品濃度三次測試結果的RSD為0.70%。充分說明了A7000 SIS在測試高濃度樣本時結果真實有效。

CETAC自動進樣系統

搭載全自動進樣器，可滿足多組樣品的檢測需求，大大節省操作時間和人工成本。

       

Multiple sample trays available

3×7 samples-30mm tube（50mL）
4×10 samples-20mm tube（20mL）
5×12 samples-16mm tube（14mL）
6×15 samples-13mm tube（7mL）

兼容水相有機相

可兼容水相有機相，適應多樣化的樣品檢測。

   

檢測原理

單顆粒光學傳感技術
Single Particle Optical(SPOS)

傳統的粒度表征的方式是用激光衍射法來獲得粒度體積徑分布。其優點是檢測方便，干法濕法都能測試，數據結果容易辨讀，如D10，D50，D90。但由于其理論的理想化假設，如米氏散射理論和夫瑯禾費衍射理論都將顆粒假定為非常標準的圓形且計算中采用的物理光學參數都非常精確，這就導致了在實際應用中產生了一系列的問題，如不同廠家的儀器測試的結果不統一；即使同樣的樣品，同樣的儀器在不同時期不同的人操作也會產生差異；對不同大小的粒徑分辨率不足等。

AccuSizer® 系列儀器使用單顆粒光學傳感技術（Single Particle Optical Sizing，SPOS），對大量粒子樣本進行粒徑測試并計數，一次檢測一個顆粒，來構建真正的粒度分布（PSD），不僅可以得到高分辨率傳統的體積分布結果，也可以得到量化的數量分布結果。其將樣品中顆粒的數量和大小進行了量化，可以很輕松地將樣品中的個別大顆粒檢測出來，對尾端粒子的高分辨率和靈敏性為產品的均一穩定性研究提供了強有力的幫助。

   

   

粒子通過光感區域的時候阻礙了一部分入射光，引起到達檢測器的光強降低，此信號的衰減幅度理論上與粒子的橫截面成比例關系。在光阻法儀器中，將光強信號轉換成電信號，具體表現為電壓值，不同粒徑大小的粒子產生的電壓值不同。根據對應關系，就可以建立標準粒子和粒徑大小的校準曲線。這是傳統的光阻法（也稱為光消減法，Light Extinction or Light obscuration）檢測粒徑的原理。傳統光阻法的范圍下限一般到1.5µm。

單顆粒光學傳感技術(SPOS)原理圖

Entegris（PSS）的SPOS技術結合了光阻效應和光散理論，將顆粒計數的下限下探到0.5µm。這不僅迎合了更嚴苛的質量要求，也助力于精密制造對環境雜質的高標要求。多達512個數據通道使數據辨析清晰可見。

如下圖所示，所用樣品為經過400目（37μm）篩的標準粒子。理論上超過37微米的應該沒有或者極少。紅色為激光衍射（Laser Diffraction）弗朗和費理論（Frannhofer）的測試結果，綠色為SPOS設備測試結果。

SPOS測試結果顯示在35μm以上沒有顆粒，而LD顯示即使300μm也有顆粒存在。原因在于粒度檢測的整體理論（Ensemble method）是模擬計算的結果，此類理論揭示的是自然界中實際呈現的正態分布現象。

技術優勢

0.01μm精度的超高分辨率
Ultra high resolution with 0.01μm accuracy

分辨率是指分辨相鄰顆粒大小的能力。Entegris（PSS）的SPOS技術可以提供多達1024個數據通道。得益于此，在檢測量程范圍內，可對粒徑大小進行更加精細的劃分，可達到0.01μm精度的超高分辨率。展現出更真實的顆粒分布情況，為研發和質控提供更精確的數據，為研發保駕護航。
如右圖所示，為0.8μm、1μm、2μm、5μm、10μm、20μm混合標粒所得到的結果。5個主峰清晰可見。

       

圖3-3 超高分辨率

多通道的優勢
512 Channel

如下圖所示，這是0.8μm、2μm、5μm的混合標粒在8通道，16通道，512通道下不同的圖譜。可以看到，在8通道下只有一個峰，粒子的大小介于0.6μm-2.2μm之間。在16通道下，可以看到2個峰，一個峰的粒子大小介于0.6μm-1.2μm之間，另外一個峰的粒子大小介于4.1μm-7.5μm之間。切換到512通道，可以明顯看到3個主峰，分別是0.8μm、2μm和5μm。
在低通道的模式下，由于數據不夠精確，容易導致誤判。通道數變多，能夠更準確反映出樣品的真實情況。

       

8通道

       

16通道

       

512通道

10PPT等級的超高靈敏度
10PPT level ultra-high sensitivity

靈敏度高達10PPT級別，緊緊抓住納米顆粒分布的“小尾巴"，哪怕只有痕量的顆粒通過傳感器，也可以精準檢測出來。在實際的生產和研發中，往往是極少數的顆粒決定了整個體系的質量和穩定性，如半導 體CMP制程所用研磨液(Slurny)、注射用乳劑中大乳粒(>5um，PFAT5)等。高靈敏度的傳感器，才能確保檢測結果更接近真實結果，助力于找到問題的真正根源和“罪魁禍首"。

A7000系列單顆粒光學傳感技術(SPOS)檢測結果VS激光衍射儀(LD)檢測結果

左圖為使用SPOS技術測得的粒度分布圖譜，右圖為使用激光衍射法(LD)技術測得的粒度分布圖譜。左圖為3.41微升的1微米PSL標粒分散于250毫升氧化硅中的PSD圖譜，右上圖為177微升同樣的標粒分散于同體積氧化硅，右下圖為360微升同樣的標粒分散于4.3mL的氧化硅中。
由圖譜可以看出:盡管將濃度提高52倍(如右上圖所示)，LD不能將不同組分進行區分；將濃度提高約6000倍(如右下圖所示)，方能看出有尾端大粒子存在。這充分說明SPOS技術比LD的靈敏度顯著提升約6000倍。

Accusizer工作站

AccuSizer® 工作站具備儀器控制、數據采集、數理統計分析、出具報告以及權限管理、用戶管理、數據安全性、審計追蹤和電子簽名等功能。

權限管理 | Authority management

內置22種子權限管理，靈活設置，便于更細致化管理，滿足CSV計算機系統驗證。

   

1.用戶管理
2.允許編輯測樣方法
3.數據庫管理
4.鏈接驅動
4.允許用戶用儀器測量樣品
5.對主機中固件更新（工程師權限）
6.密碼權限設置
7.可看、輸出、更改數據自動備份位置
8.更改重新計算測試數據
9.導入曲線
10.曲線校準（不對用戶開放）
11.增加減少報告模板
12.允許打印或導出報告
13.刪除測樣數據（僅軟件界面看不到，數據庫數據依然存在，并可還原）
14. 刪除測樣數據
15. 刪除報告
16. 刪除文件

數據備份 | Data backup

可與Lims系統連用并按照固定時間點或間隔時長，自動備份到路徑或上傳到其他服務器，無需擔心數據丟失。

內置標準和模板

全通道 VS 自定義通道

樣品測試界面

自定義報告

高度可定制化報告模版，更可以滿足不同行業的不同需求，既可以滿足質檢部門(QC)的需求，更可以為研發工程師提供強大的數據分析能力。